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微纳加工MEMS器件设计:根据客户需求,初步确定材料、工艺、和技术路线,并出具示意图。版图设计:在器件设计的基础上,将客户需求细化,并转化成版图设计。工艺设计:设计具体的工艺路线和实现路径,生产工艺...
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